Với nhận thức về môi trường ngày càng tăng, công nghệ phủ bề mặt cho vật liệu đã dần chuyển đổi từ mạ điện và mạ hóa học truyền thống sang phún xạ chân không. Phương pháp phún xạ magnetron chân không đã được sử dụng rộng rãi trong các lớp phủ trang trí phần cứng, lớp phủ bảo vệ bề mặt, lớp phủ sản phẩm điện tử, lớp phủ che chắn điện từ, lớp phủ kính ô tô và kiến trúc.
Do đó, nhu cầu về các mục tiêu phủ liên quan trong lĩnh vực này là vô cùng cấp thiết. Hợp kim nhôm-titan là mục tiêu phún xạ hợp kim cho lớp phủ chân không. Bằng cách điều chỉnh hàm lượng titan và nhôm trong hợp kim này, có thể thu được các đặc tính khác nhau. Hợp chất liên kim loại nhôm-titan là vật liệu cứng và giòn có khả năng chống mài mòn tuyệt vời. Việc phủ hợp chất này lên bề mặt của các dụng cụ cắt thông thường có thể kéo dài tuổi thọ của dụng cụ một cách hiệu quả.
1. Mục tiêu phún xạ
Mục tiêu phún xạlà các nguồn phún xạ được sử dụng để lắng đọng các màng mỏng chức năng khác nhau trên các chất nền bằng phương pháp phún xạ magnetron, mạ ion-hồ quang đa hoặc thiết bị phủ khác trong các điều kiện xử lý thích hợp. Mục tiêu phún xạ được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng, bao gồm trang trí, khuôn mẫu, thủy tinh, thiết bị điện tử, chất bán dẫn, ghi từ tính, màn hình-phẳng và pin mặt trời. Các ứng dụng khác nhau yêu cầu vật liệu mục tiêu khác nhau. Dựa trên phương pháp sản xuất, mục tiêu phún xạ có thể được phân loại thành mục tiêu bột, mục tiêu nấu chảy và mục tiêu phun. Dựa trên hình dạng, chúng có thể được phân loại thành mục tiêu phẳng và mục tiêu hình ống, trong đó mục tiêu phẳng được phân loại thành mục tiêu hình chữ nhật và mục tiêu hình tròn. Dựa trên thành phần, chúng có thể được phân loại thành nhiều loại khác nhau, bao gồm mục tiêu kim loại nguyên chất, mục tiêu hợp kim, mục tiêu oxit và mục tiêu silic.
2. Công nghệ chế tạo bia phún xạ hợp kim nhôm titan
Vật liệu mục tiêu hợp kim phún xạ cần phải đáp ứng các yêu cầu về độ tinh khiết, mật độ, kích thước hạt, độ hoàn thiện bề mặt, v.v. Trong số đó, độ tinh khiết, mật độ và kích thước hạt có liên quan trực tiếp đến quá trình chuẩn bị vật liệu mục tiêu Chuẩn bị hợp kim kim loại thường áp dụng phương pháp nấu chảy thông thường. Tuy nhiên, việc chuẩn bị hợp kim nhôm titan không phù hợp với phương pháp này.
Những lý do chính như sau:
(1) Quá trình nóng chảy của hợp kim nhôm titan có xu hướng hình thành nhiều loại hợp chất liên kim loại, chẳng hạn như Gr1, TIA1, TIAL, TiAL, v.v. Sự hiện diện của các hợp chất liên kim loại này dẫn đến độ giòn trong quá trình xử lý của hợp kim nhôm titan, đặc biệt là khi hàm lượng nhôm trong hợp kim vượt quá 50% (tỷ lệ nguyên tử). Vấn đề này đặc biệt rõ ràng;
(2) Khi chuẩn bị vật liệu mục tiêu hợp kim nhôm titan bằng quá trình nấu chảy, bong bóng, độ lỏng và sự phân tách dễ dàng được tạo ra trong quá trình đúc, dẫn đến thành phần và cấu trúc không đồng đều trong hợp kim, dẫn đến chất lượng vật liệu mục tiêu không ổn định.
3. Phương pháp ép và thiêu kết đẳng tĩnh nóng
Các học giả Zhang Fengge và những người khác đã phát triển một phương pháp luyện kim bột để chế tạo các mục tiêu bằng hợp kim nhôm-titan. Phương pháp này liên quan đến việc trộn bột titan và nhôm. Hỗn hợp này trải qua quá trình nạp bột, ép đẳng tĩnh lạnh và khử khí trước khi ép đẳng tĩnh nóng. Cuối cùng, mục tiêu được thiêu kết và xử lý để tạo ra mục tiêu bằng hợp kim nhôm titan{4}}.
Kết luận Tóm tắt
Thiêu kết ép nóng là công nghệ hứa hẹn nhất để chuẩn bị các mục tiêu phún xạ nhôm-titan. Công nghệ này mang lại hiệu quả xử lý cao và phù hợp cho sản xuất công nghiệp. Tuy nhiên, việc chuẩn bị các mục tiêu bằng hợp kim nhôm titan-bằng công nghệ này đòi hỏi phải thử nghiệm nhiều lần và lựa chọn chất giải phóng thích hợp để cải thiện năng suất và khả năng sử dụng khuôn. Hơn nữa, việc tối ưu hóa các điều kiện của quá trình thiêu kết và ép nóng (nhiệt độ thiêu kết, tốc độ gia nhiệt và áp suất ép nóng) là cần thiết để nâng cao hiệu quả sản xuất và do đó giảm chi phí. Với sự phát triển nhanh chóng của lớp phủ phún xạ và sự phổ biến dần dần của nó ở Trung Quốc, nhu cầu thị trường hàng năm đối với các mục tiêu phún xạ cũng đang tăng lên nhanh chóng. Vì vậy, nghiên cứu về công nghệ chuẩn bị mục tiêu bằng hợp kim nhôm titan{7}}có ý nghĩa thực tiễn và triển vọng ứng dụng lớn.
Công ty TNHH Vật liệu kim loại Baoji Reliab
Điện thoại: +86-917-8883215
Phòng kinh doanh 1: +8613092900605 (Mr.Gary)
Phòng kinh doanh 2: +8613092913521(Ms. Sophia)
Địa chỉ: Số 35 Đường Baoti, Quận Weibin, Baoji, Trung Quốc
